一部5G手機(jī)內(nèi)置的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）數(shù)量已超過(guò)20顆，主打“智能化”的新能源車，MEMS的數(shù)量更是高達(dá)上百顆。如果把集成電路芯片比喻成“大腦”，傳感器就是智能設(shè)備感知世界的“五官”，應(yīng)用場(chǎng)景無(wú)處不在。

隨著2021年安徽省首次提出打造“中國(guó)傳感谷”、加速推進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展，蚌埠智能傳感產(chǎn)業(yè)初露崢嶸。近年來(lái)，該市聚焦聚力智能傳感產(chǎn)業(yè)，以晶圓加工能力為核心競(jìng)爭(zhēng)力，吸引下游企業(yè)入駐，推動(dòng)智能傳感器產(chǎn)業(yè)軟硬協(xié)同、集聚發(fā)展，著力打造自主可控芯體最多、種類最全、產(chǎn)值超千億的智能傳感產(chǎn)業(yè)集群。

中國(guó)傳感谷內(nèi)企業(yè)生產(chǎn)場(chǎng)景（資料圖）

破題缺“芯”蚌埠MEMS晶圓上線

近日，記者走進(jìn)位于蚌埠經(jīng)開(kāi)區(qū)的中國(guó)傳感谷核心企業(yè)——安徽華鑫微納集成電路有限公司，數(shù)十張辦公桌整齊、細(xì)密地排布在大廳里，幾十名工作人員緊盯電腦。

“企業(yè)的大量設(shè)備正在進(jìn)場(chǎng)，設(shè)備供應(yīng)商在和我們的工程師、專家核對(duì)工程與設(shè)備細(xì)節(jié)�！比A鑫微納業(yè)務(wù)發(fā)展部部長(zhǎng)徐海濤介紹，企業(yè)的194臺(tái)套設(shè)備，到本月底將有80%進(jìn)場(chǎng)。計(jì)劃于明年4月完成串線，6月試產(chǎn)，三季度量產(chǎn)，四季度達(dá)產(chǎn)。

該企業(yè)的時(shí)間表、任務(wù)量和工程進(jìn)度，不僅事關(guān)園區(qū)周邊企業(yè)，還牽動(dòng)了長(zhǎng)三角傳感產(chǎn)業(yè)格局，更影響著國(guó)內(nèi)MEMS芯片產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

“數(shù)據(jù)顯示，去年全球8英寸MEMS晶圓供貨量達(dá)到400萬(wàn)片，國(guó)內(nèi)消耗近200萬(wàn)片，而去年國(guó)內(nèi)產(chǎn)能約9萬(wàn)片�！毙旌�濤對(duì)記者說(shuō)，華鑫微納達(dá)產(chǎn)后預(yù)計(jì)月產(chǎn)8英寸晶圓1萬(wàn)片，到2027年將達(dá)到月產(chǎn)3萬(wàn)片。

MEMS芯片是MEMS傳感器中技術(shù)和價(jià)值含量最高的部分，其與大眾熟知的集成電路芯片如CPU、GPU等有很多相似處，都追求在微觀尺度內(nèi)，以半導(dǎo)體材料為襯底，單片制成晶圓后切割成多片芯片。在晶圓制造過(guò)程中所進(jìn)行的光刻、薄膜沉積、刻蝕、摻雜等單項(xiàng)工藝也大體一致。

蚌埠經(jīng)開(kāi)區(qū)管委會(huì)副主任董思敏介紹，華鑫微納將是蚌埠智能傳感器產(chǎn)業(yè)的制造基礎(chǔ)，助力解決國(guó)內(nèi)MEMS芯片“卡脖子”問(wèn)題。作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的8英寸MEMS智能傳感器晶圓代工企業(yè)，華鑫微納將對(duì)外提供開(kāi)放式、定制化MEMS晶圓代工服務(wù)。這意味著，智能傳感器的核心部件，繁復(fù)多樣的MEMS芯片將在蚌埠生產(chǎn)，向我省乃至全國(guó)的智能傳感器企業(yè)供貨，為整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈安全提供有力支撐。

安徽海車神馭無(wú)人裝備科技有限公司生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)。孫言梅攝

集聚成勢(shì)迸發(fā)發(fā)展強(qiáng)動(dòng)能

12月19日，中國(guó)傳感谷內(nèi)，安徽海車神馭無(wú)人裝備科技有限公司的工作人員正在進(jìn)行無(wú)人巡邏車的測(cè)試工作。“這是我們的主打產(chǎn)品之一，通過(guò)激光雷達(dá)傳感器、攝像頭等裝置精準(zhǔn)感知周圍環(huán)境，監(jiān)測(cè)安全狀況，目前已在社區(qū)、醫(yī)院、學(xué)校等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。”公司相關(guān)負(fù)責(zé)人周永健說(shuō)。

海車神馭是上海海神機(jī)器人科技有限公司在蚌埠投建的智能制造基地，也是中國(guó)傳感谷C區(qū)首批入駐并投產(chǎn)的企業(yè)。除了無(wú)人巡邏車，該企業(yè)還生產(chǎn)無(wú)人快遞車、無(wú)人清掃車等，產(chǎn)品的核心競(jìng)爭(zhēng)力在于算法、控制器和傳感器等軟硬件。

“蚌埠是全國(guó)三大傳感器基地之一，也是安徽唯一、全國(guó)不多的同時(shí)擁有集成電路和MEMS晶圓生產(chǎn)線的城市，聚集眾多傳感器領(lǐng)域上下游企業(yè)，因此企業(yè)選擇落戶在此。今年4月投產(chǎn)，10月就入規(guī)了�！敝苡澜≌f(shuō)。

企業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展，離不開(kāi)政府支持。今年初，海車神馭進(jìn)入試生產(chǎn)階段，因生產(chǎn)技術(shù)要求較高，企業(yè)面臨一線技工短缺的難題。蚌埠經(jīng)開(kāi)區(qū)走訪了解情況后，及時(shí)組織開(kāi)展招聘活動(dòng)，積極對(duì)接本地職業(yè)院校，招聘20多名工人進(jìn)廠，確保了企業(yè)試生產(chǎn)的正常進(jìn)行。

“在蚌埠經(jīng)開(kāi)區(qū)相關(guān)部門的持續(xù)幫助下，目前車間已有70多名工人，保障了5條生產(chǎn)線正常運(yùn)轉(zhuǎn)，今年將完成產(chǎn)值3000萬(wàn)元。明年我們會(huì)進(jìn)一步擴(kuò)大產(chǎn)能，開(kāi)拓更廣闊的發(fā)展空間�！敝苡澜≌f(shuō)。

目前，蚌埠市已培育北方微電子、芯動(dòng)聯(lián)科、希磁科技、有家硅光、依愛(ài)消防、雙環(huán)電子等一批行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)。隨著一個(gè)個(gè)企業(yè)加快集聚，蚌埠智能傳感產(chǎn)業(yè)集群乘風(fēng)而起。數(shù)據(jù)顯示，全市智能傳感產(chǎn)業(yè)相關(guān)企業(yè)已有200余家，經(jīng)濟(jì)規(guī)�？偭砍�百億元。

服務(wù)升級(jí)持續(xù)優(yōu)化產(chǎn)業(yè)生態(tài)

傳感器產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品品種多、企業(yè)規(guī)模小、應(yīng)用領(lǐng)域分散、制造工藝復(fù)雜。蚌埠為何將其確定為重點(diǎn)打造的六大產(chǎn)業(yè)集群之一？

有行業(yè)研究數(shù)據(jù)顯示，消費(fèi)電子產(chǎn)品的傳感化、自動(dòng)駕駛、工業(yè)4.0和人工智能的興起，導(dǎo)致全球未來(lái)長(zhǎng)期大量的MEMS器件需求。預(yù)計(jì)2029年，全球MEMS晶圓產(chǎn)量將增長(zhǎng)到500萬(wàn)片。

蚌埠的目標(biāo)，是切分傳感器產(chǎn)業(yè)中未來(lái)需求旺盛、技術(shù)門檻高、利潤(rùn)豐厚的智能傳感器市場(chǎng)�！耙呀�(jīng)形成了多條細(xì)分賽道，各有龍頭企業(yè)牽引�！倍�思敏介紹，以芯動(dòng)聯(lián)科為代表的慣性傳感器主要應(yīng)用于消費(fèi)電子，以希磁科技為代表的磁電流傳感器裝備在新能源汽車等電控場(chǎng)景。

蚌埠市還成立智能傳感產(chǎn)業(yè)專班，由市領(lǐng)導(dǎo)牽頭調(diào)度，定期協(xié)調(diào)解決園區(qū)建設(shè)發(fā)展中的各類問(wèn)題。為了應(yīng)對(duì)智能傳感企業(yè)相對(duì)規(guī)模小、投入不足，目前已落地運(yùn)行總規(guī)模約26億元的4只基金，引育匯電能源等10余個(gè)項(xiàng)目落地，目前正陸續(xù)組建總規(guī)模約20億元的5只基金。

為了解決企業(yè)生產(chǎn)的共性需求，蚌埠經(jīng)開(kāi)區(qū)創(chuàng)新性地由園區(qū)代建包括表面處理中心、大宗氣站等，企業(yè)“拎包入住”即可共享這些生產(chǎn)服務(wù)。園區(qū)還建成微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）國(guó)家地方聯(lián)合工程實(shí)驗(yàn)室等近20個(gè)創(chuàng)新平臺(tái)，其中省級(jí)以上創(chuàng)新平臺(tái)9個(gè)，與大院大所、著名高校廣泛合作，為園區(qū)企業(yè)提供全方位的科研技術(shù)支撐。

蚌埠智能傳感產(chǎn)業(yè)從北方微電子研究院一條6英寸MEMS中試線出發(fā)，篳路藍(lán)縷、久久為功，沿著“一個(gè)科研院所帶動(dòng)一個(gè)產(chǎn)業(yè)發(fā)展”的思路一路走來(lái)，目前已成為自主可控芯體最多、傳感器種類最全，集研發(fā)設(shè)計(jì)、晶圓制造、封裝測(cè)試、終端應(yīng)用為一體的全產(chǎn)業(yè)鏈聚集區(qū)。